特許

J-GLOBAL ID：200903041097246762

固体撮像素子

発明者： 福所 孝
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-263036
公開番号（公開出願番号）：特開平11-103036
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】 集光効率を高めて感度向上を図るとともに、遮光膜に起因する不都合を解消した固体撮像素子の提供が望まれている。【解決手段】 基体2の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部3と、受光センサ部3から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部5と、基体2上の、電荷転送部5の略直上位置に絶縁膜7を介して設けられた転送電極8とが備えられた固体撮像素子1である。受光センサ部3上に、入射光を受光センサ部3に集光する層内レンズ13が設けられている。転送電極8の側壁面にこれを覆って第1の層間膜9が設けられ、これを覆ってこの第1の層間膜9より屈折率が大である第2の層間膜10が設けられている。

請求項（抜粋）：

基体の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部と、該受光センサ部から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部と、前記基体上の、前記電荷転送部の略直上位置に絶縁膜を介して設けられた転送電極とが備えられてなり、前記受光センサ部上に、入射光を受光センサ部に集光する層内レンズが設けられ、前記転送電極の側壁面に該側壁面を覆って第1の層間膜が設けられ、該第1の層間膜を覆ってこの第1の層間膜より屈折率が大である第2の層間膜が設けられたことを特徴とする固体撮像素子。