特許
J-GLOBAL ID：200903041101666496
円筒状部材の内周面への硬質カーボン膜形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-319257
公開番号（公開出願番号）：特開平11-152568
出願日： 1997年11月20日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 円筒状部材に密着性よく硬質カーボン膜を形成することが可能な硬質カーボン膜の被膜形成方法を提供する。【解決手段】 接地電位と接続する補助電極23を円筒状部材の開口内面に挿入するように円筒状部材を真空槽13内に配置し、真空槽13内を初期到達圧力に排気する処理工程と、そののち円筒状部材11に直流電圧を印加しアノード31に直流電圧を印加しフィラメント33に交流電圧を印加する処理工程と、しかるのちガス導入口から炭素を含むガスとアルゴンガスとの混合ガスを真空槽内に導入してプラズマを発生させ、円筒状部材に硬質カーボン膜を被膜形成圧力にて形成する処理工程とを有する。
請求項（抜粋）：
排気口およびガス導入口を有し、内部にアノードとフィラメントを設ける真空槽内に円筒状部材を配置し、この円筒状部材の中心開口内に接地電位と接続する補助電極を挿入するように配置する第1の工程と、そののち、真空槽内を所定の真空度以下の初期到達圧力に排気する第2の工程と、その後、円筒状部材に直流電圧を印加するとともに、アノードに直流電圧を印加し、フィラメントに交流電圧を印加する第3の工程と、さらにその後、ガス導入口から炭素を含むガスとアルゴンガスとの混合ガスを真空槽内に導入してプラズマを発生させ、円筒状部材の内周面に硬質カーボン膜を形成しながら、真空槽内の圧力を初期到達圧力より高い被膜形成圧力になるように制御する第4の工程と、しかるのち、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入してプラズマを発生させ、円筒状部材の内周面に硬質カーボン膜を形成しながら、真空槽内の圧力を初期到達圧力より高い被膜形成圧力になるように制御する第5の工程とを有することを特徴とする円筒状部材の内周面への硬質カーボン膜形成方法。
IPC (4件)：
C23C 16/26
, C01B 31/02 101
, C23C 16/50
, F16J 9/26
C23C 16/26
, C01B 31/02 101 Z
, C23C 16/50
, F16J 9/26 C
