特許
J-GLOBAL ID：200903041106479562
マイクロエレクトロメカニカルコンポーネント
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-192488
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133880
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：
【要約】【課題】 MEMSコンポーネントを提供することを目的とする。【解決手段】 半導体ベースの基板に作られ、かつ2つの入力端子と2つの出力端子とを備えたフィルタリング機能を提供するマイクロエレクトロメカニカルコンポーネント1において:少なくとも1つの変形可能部分により基板に結合され、かつ強磁性体材料からなる領域を含む移動可能要素4と;各入力端子又は各出力端子30,31と結合され、かつ前記移動可能要素4の強磁性体領域と磁気的に相互作用することができる金属コイル5と;前記各出力端子又は前記各入力端子の一方と結合され、前記移動可能要素4に取り付けられた相補面に対向配置された第1電極6を形成する面と; をさらに備え、この相補面が前記出力端子又は前記入力端子の他方と結合され、かつ前記第1電極6と静電的に相互作用することができる第2電極を形成することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
半導体ベースの基板に作られ、かつ、2つの入力端子(8,9)と2つの出力端子(30,31)とを備えたフィルタリング機能を提供するマイクロエレクトロメカニカルコンポーネント(1)において:・少なくとも1つの変形可能部分(23,24)により基板に結合され、かつ強磁性体材料からなる領域(20)を含む移動可能要素(4)と;・各入力端子又は各出力端子(30,31)と結合され、かつ前記移動可能要素(4)の強磁性体領域(20)と磁気的に相互作用することができる金属コイル(5)と;・前記各出力端子又は前記各入力端子の一方(8)と結合され、前記移動可能要素(4)に取り付けられた相補面(7)に対向配置された第1電極(6)を形成する面と; をさらに備え、この相補面(7)が前記出力端子又は前記入力端子の他方(9)と結合され、かつ前記第1電極(6)と静電的に相互作用することができる第2電極を形成することを特徴とするコンポーネント。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
5J024AA01
, 5J024DA01
, 5J024DA26
