特許

J-GLOBAL ID：200903041108260169

露光装置のフォーカス制御方法及びフォーカス制御装置

発明者： 高木 勝治
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 角田 芳末 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-380316
公開番号（公開出願番号）：特開2003-187467
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 露光用光の集光状態の変動を安定且つ再現性良く制御する。【解決手段】 露光用光を出射する露光用光源10と、フォーカス用光を出射するフォーカス用光源20と、この露光用光及びフォーカス用光を露光対象物7に照射する対物レンズ13と、この対物レンズ13を光軸方向に駆動するアクチュエータ14と、露光対象物7からのフォーカス用光の反射光を検出しフォーカス誤差信号を得るフォーカス用光検出器24とを有し、フォーカス誤差信号によりアクチュエータ14を制御するようにした露光装置のフォーカス制御装置において、露光対象物7よりの露光用光の反射光の画像信号を得る撮像手段17と、撮像手段17よりの画像信号を画像処理して対物レンズのオフセット量に応じたオフセット信号を得る画像処理手段26とを設け、このオフセット信号をフォーカス誤差信号に重畳してアクチュエータ14に供給し、対物レンズ13のオフセットをなくすようにする。

請求項（抜粋）：

露光用光及びフォーカス用光を夫々対物レンズを介して露光対象物に照射すると共に前記露光対象物よりの前記フォーカス用光の反射光を検出してフォーカス誤差信号を得、該フォーカス誤差信号により前記対物レンズを制御して、前記露光用光の前記露光対象物における集光状態を制御するようにした露光装置のフォーカス制御方法において、前記露光用光の前記露光対象物よりの反射光の画像信号を得ると共に該画像信号を画像処理して前記対物レンズのオフセット量に応じたオフセット信号を得、該オフセット信号を前記フォーカス誤差信号に重畳して前記対物レンズを制御し前記対物レンズのオフセットをなくすようにしたことを特徴とする露光装置のフォーカス制御方法。

IPC (2件)：

G11B 7/09 ,  G11B 7/26 501

FI (2件)：

G11B 7/09 B ,  G11B 7/26 501

Fターム (22件)：

5D118AA06 ,  5D118AA13 ,  5D118AA20 ,  5D118AA27 ,  5D118BA01 ,  5D118BB09 ,  5D118BF03 ,  5D118CA11 ,  5D118CB03 ,  5D118CC03 ,  5D118CC12 ,  5D118CD02 ,  5D118CF03 ,  5D118CF20 ,  5D118CG03 ,  5D118CG07 ,  5D118CG17 ,  5D118CG26 ,  5D118DA06 ,  5D118DC03 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38