特許
J-GLOBAL ID：200903041109526901
電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169866
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343020
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 試料ドリフトによる分析精度の低下や電子顕微鏡像の分解能低下のない電子顕微鏡を提供する。【構成】 映像信号検出手段102は時刻t1 における映像信号を2値信号に変換し、画像データとして第1の画像メモリ103aに記憶する。さらに、予定時間Δt後(時刻t1 +Δt)における映像信号を画像データとして第2の画像メモリ103bに記憶する。ドリフト量検出手段104は、第1の画像メモリ103aに記憶された画像データと第2の画像メモリ103bに記憶された画像データとを比較して予定時間Δt間におけるドリフト量ΔDを検出する。判定手段105はドリフト量ΔDを基準ドリフト量Dref と比較し、ドリフト量ΔDが基準ドリフト量Dref を下回るとドリフトの収束を判定する。
請求項（抜粋）：
電子銃から放出された収束電子ビームを試料に照射して試料の分析/試料像の撮影を行う電子顕微鏡において、第1のタイミングで得られた第1の画像データを記憶する第1の記憶手段と、第1のタイミングから予定時間経過後の第2のタイミングで得られた第2の画像データを記憶する第2の記憶手段と、前記第1および第2の画像データを比較し、前記予定時間中のドリフト量を検出するドリフト量検出手段と、前記検出結果に基づいて、ドリフトの実質的な収束を判定する判定手段とを具備したことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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