特許

J-GLOBAL ID：200903041114326708

光導波路の製造方法

発明者： 中村 史朗 ,  柳川 久治
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-053791
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257021
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】本発明は、コア層およびクラッド層内における層厚や屈折率のバラツキが小さく、しかも光パワーの伝搬損失が小さい光導波路を得ることができる製造方法を提供することを目的とする。【構成】基板上に第1のクラッド層およびコア層を形成する工程、前記コア層を所望のパターンにパターニングする工程、並びに前記コア層上に第2のクラッド層を形成する工程を具備する光導波路の製造方法において、前記第1および第2のクラッド層の熱膨張係数と前記コア層の熱膨張係数との差が最小になるように前記第1および第2のクラッド層、並びに前記コア層にドーパントをドーピングすることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基板上に第1のクラッド層およびコア層を形成する工程、前記コア層を所望のパターンにパターニングする工程、並びに前記コア層上に第2のクラッド層を形成する工程を具備する光導波路の製造方法において、前記第1および第2のクラッド層の熱膨張係数と前記コア層の熱膨張係数との差が最小になるように前記第1および第2のクラッド層、並びに前記コア層にドーパントをドーピングすることを特徴とする光導波路の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭57-009910
  
• 特開昭52-114451