特許
J-GLOBAL ID:200903041114882058

座標測定装置における形状エレメントの測定法および座標測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-087207
公開番号(公開出願番号):特開平6-018254
出願日: 1993年04月14日
公開日(公表日): 1994年01月25日
要約:
【要約】【目的】 既知の幾何学的形状の形状エレメントを有する加工物を任意の空間方向において迅速に測定する目的で、測定用走査ヘッドを有する座標測定装置でこの形状エレメントを走査ヘッドの走査球が加工物の表面と持続的に接触する目標走行路に沿って走査させる。【構成】 この目的に用いられれる、座標測定装置の制御装置が、走査ヘッドの許容測定領域を監視して、測定結果への走査器たわみの影響を補正する。
請求項(抜粋):
加工物(17)における任意の空間方向の形状エレメントを、測定用走査ヘッド(2)を有する座標測定装置で測定する方法であって、該座標測定装置は、測定装置(18)を有し、該測定装置は座標方向(X′,Y′,Z′)における走査器変位Aistベクトルの大きさを与え、測定力発生器(23)を含み、該測定力発生器を介して、走査器が加工物(17)へ作用する測定力Fベクトルが座標方向(X′,Y′,Z′)に対して設定調整され、またはばねを含み、該ばねは走査器の変位の1つに比例する、座標方向における測定力を発生する形式の、測定法において、次の方法ステップを設けたことを、即ち座標測定装置の計算器(4)により該座標測定装置の制御装置へ、測定されるべき形状エレメントの目標位置と目標輪郭を既述するデータPi(X,Y,Z)を転送し、該データから前記制御装置が走行路データ(Li)を送出し、該走行路データに沿って制御装置が座標測定装置の走査ヘッド(2)を目標輪郭から次のようにずらして走行させ、即ち走査器における走査球(7)を加工物(17)と接触状態に維持しかつ走査器変位Aistベクトルを走査ヘッド(2)の許容測定範囲(MR)内に維持するように、走行し、制御装置が個々の測定力発生器(23)の力をないし所定の検出器変位Asollベクトルを目標輪郭に応じて次の様に設定調整し、即ち合成された全体の測定力Fsollベクトルが各々の個所において輪郭へ配方されている様に、設定調整し、測定値発信器(18)の信号から形状エレメントの実際の輪郭の、目標輪郭からの偏差をないし形状エレメントの中心点位置,直径等のような特性量からの偏差を算出するステップを設けたことを特徴とする、座標測定装置における形状エレメントの測定法。
IPC (2件):
G01B 21/20 101 ,  G01B 21/04

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