特許

J-GLOBAL ID：200903041115552329

波長可変光学素子

発明者： 古屋 博之 ,  横川 俊哉
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087839
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279914
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】 光通信や光情報処理等に用いられる従来の干渉フィルタ、ミラーは、透過波長乃至反射波長が可変ではないため、波長に応じて数枚のフィルタないしミラーが必要となっていた。【解決手段】 透明基板上に、透明電極と低屈折率誘電体膜及び高屈折率誘電体膜の積層構造を具備しており、最表面には再び透明電極を具備した構成とする。透明電極に電界を印加させ、誘電体膜として電気光学効果を持つ材料を使用した場合は屈折率が変化することで、誘電体膜として圧電性を持つ誘電体材料を使用した場合には膜厚が変化することで、あるいは両方の性質を持つ材料の場合には屈折率と膜厚が変化することにより、透過特性・反射特性を変化させる機構を具備することを特徴とした波長可変のフィルタ・ミラー或いは光スイッチとして使用可能な波長可変光学素子を得ることができる。

請求項（抜粋）：

透明基板と、前記透明基板の上方に形成された、低屈折率誘電体薄膜と高屈折率誘電体薄膜の多層構造と、前記多層構造に電界を印加できる電極とを具備した構造を有し、前記低屈折率誘電体薄膜ないし高屈折率誘電体薄膜の一方あるいは両方が電気光学効果を有する材料で形成されており、電極間に電界を印加することにより屈折率を変化させ反射波長ないし透過波長を変化させることを特徴とする波長可変光学素子。

IPC (6件)：

G02F 1/03 505 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  H01L 31/0232 ,  H01L 33/00 ,  H01S 5/028

FI (6件)：

G02F 1/03 505 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  H01L 33/00 M ,  H01S 5/028 ,  H01L 31/02 D

Fターム (24件)：

2H048FA05 ,  2H048FA11 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA12 ,  2H048GA33 ,  2H048GA51 ,  2H048GA62 ,  2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079CA07 ,  2H079DA02 ,  2H079EA28 ,  2H079EB17 ,  5F041EE22 ,  5F073AA83 ,  5F073AA89 ,  5F073AB17 ,  5F088HA05 ,  5F088HA06 ,  5F088HA07 ,  5F088HA09 ,  5F088HA10