特許

J-GLOBAL ID：200903041120089491

感放射線性組成物

発明者： 村田 誠 ,  山近 幹雄 ,  勇元 喜次 ,  三浦 孝夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216052
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224422
出願日： 1992年08月13日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【構成】(A)下記式(1)【化1】で表わされる繰返し単位を有する重合体および(B)感放射線性酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【効果】本発明の感放射線性組成物は、エキシマレーザーなどの遠紫外線、シンクロトロン放射線などのX線、電子線などの荷電放射線といった、放射線のいずれにも対応できるので、今後さらに微細化が進行すると予想される集積回路製造用のレジストとして有利に使用できる。

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)【化1】で表わされる繰返し単位を有する重合体および(B)感放射線性酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-000070
  
• 特表昭57-501497
  
• 特開平2-146045
  
• 特開平2-103049