特許

J-GLOBAL ID：200903041123753368

ポジ型感光性組成物

発明者： 河辺 保雅 ,  佐藤 健一郎 ,  青合 利明
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-132290
公開番号（公開出願番号）：特開平11-327144
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】 深紫外線、特にArFエキシマレーザー光に対して高い感度を有し、解像力、レジストプロファイルが優れるとともに、十分なドライエッチング耐性を備え、かつ、基板からの剥離が起こらないレジストパターンを形成し得る、優れたポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び特定の構造の2価の多環型の脂環式単位を重合体の主鎖に有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)下記一般式(I)又は一般式(II)で表される2価の多環型の脂環式単位を重合体の主鎖に有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】上記一般式(I)又は一般式(II)において、R1 〜R4 は、各々独立に水素原子、ハロゲン原子、置換もしくは未置換のアルキル基、環状アルキル基あるいはアルコキシ基、酸の作用により分解する基、または-Z-COOR5 を表す。またR1 〜R4 のうち少なくとも2つが結合して、-Z-C(=O)-Y-C(=O)-で表されるような2価の結合基を形成して環を形成してもよい。R5 は水素原子又はアルキル基を表し、Zは単結合、あるいは-CH2 -基を表す。R7 、R8 は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。また、Yは酸素原子、硫黄原子又は-N(R6 )-基を表し、R6 は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、酸の作用により分解する基、または-Z-COOR5 基を表す。

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 ,  C08L 65/00 ,  H01L 21/027 ,  C08G 61/08

FI (4件)：

G03F 7/039 601 ,  C08L 65/00 ,  C08G 61/08 ,  H01L 21/30 502 R