特許

J-GLOBAL ID：200903041125244134

形状測定方法

発明者： 清水 敬司
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181917
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033244
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 分割測定データの接続誤差のバラつきを防止して被測定面全体の形状情報を精度良く測定できる形状測定方法を提供する。【解決手段】 被測定物1の被測定面2の設計形状、あるいは概略断面形状測定装置3によって測定された概略形状情報に基づいて被測定面2の概略形状を認識し、この概略形状に基づいて関数z=G(x)を求め、関数z=G(x)と精密測定器4による測定値誤差の標準偏差から計算される接続誤差がユーザーの設定した許容値以下になるような重複部分の大きさ、位置、被評価点の個数と位置を求め、これにより最適な部分領域の分割位置、部分領域の数及び各部分領域を測定するための相対位置,姿勢を設定する。

請求項（抜粋）：

二次元空間座標系を直交座標系(x,z)で表すとき、被測定物の被測定面の設計形状、あるいは概略測定器による被測定面全体の測定結果に基づいて前記被測定面の概略形状情報z=G(x)を認識し、前記被測定物を前記概略測定器より高い測定精度を有する精密測定器の測定範囲内に所定の相対位置,姿勢となるように設定し、前記精密測定器の前記測定範囲内における前記被測定物の前記被測定面が互いに隣接する領域との間に部分的に重複する重複部分を有する複数の部分領域を形成し、前記精密測定器の測定値誤差の標準偏差をσとして、任意の部分領域とこれに接続される被接続部分領域とを二次元空間における回転と二次元並進移動で座標変換して接続する際のx方向の誤差の標準偏差の許容値を(σx)としたとき、以下の式(σx)2 ≧2((S2)2 -S(S22))/det(A)ただし、det(A)は以下に示す行列Aの行列式【数1】S11= Σ((∂G/∂x)i2 /σi2 )S12= Σ((∂G/∂x)i(xi+G(xi)(∂G/∂x)i/σi2 )S22= Σ((xi+G(xi)(∂G/∂x)i)2 /σi2 )S1 = Σ((∂G/∂x)i/σi2 )S2 = Σ((xi+G(xi)(∂G/∂x)i)/σi2 )S = Σ(1/σi2 )(上記のΣは前記重複部分における被評価点の総和を示す)が成り立つように、前記重複部分の大きさと位置、及び前記重複部分における前記被評価点の個数と位置の条件を定め、前記条件に基づいて測定を行うことにより形状情報を取得し、任意の隣接する2領域n1とn2とを接続するときに前記被接続部分領域の前記重複部分におけるn2の形状情報に最も適合する関数z=B(x)を求め、前記任意の部分領域の前記重複部分におけるn1の形状情報である複数k1個の二次元座標データ(xi,zi)(i=1,2,...k1)に対して、前記関数z=B(x)に回転と二次元並進移動の座標変換を施した結果の関数z=C(x)がχ02 =Σ〔{zi-C(xi)}/σi〕2の最小値を与えるような前記回転と前記二次元並進移動の座標変換を求め、被接続部分領域を測定して得られた形状情報であるn2全体の形状情報である複数k2個の二次元座標データ(xi,zi)(i=1,2,...k2)に対して、前記χ02 =Σ〔{zi-C(xi)}/σi〕2 の最小値を与える前記座標変換を施すことによって前記任意の隣接する2つの部分領域を前記重複部分を介して接続することを特徴とする形状測定方法。