特許

J-GLOBAL ID：200903041153192140

ICテスタ用ハンドラにおける再検査方法

発明者： 大西 武士 ,  小島 克己 ,  海沼 正
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-338914
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184643
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】 ICテスタ用ハンドラを用いたICテストで、初回のテストで複数のカテゴリに分類されるDUT15の内で、再テストと指定される複数のカテゴリのDUTを一括して再検査カテゴリに収納して再検査を行う方法を提供する。【構成】 この発明は再検査モードの有効/無効と再検査ソートモードの有効/無効との再検査設定を行い、初回のテストが終了すると、再検査ソートモードが有効でかつ初回測定でかつ再検査するカテゴリか?が判断され、YESの場合にはそれらのDUTを一括収納して再検査を行い、2回目のテスト終了後に全てのDUTをソーティングする再検査方法である。

請求項（抜粋）：

ICテスタ用ハンドラとICテスタを用いたDUT(15)のテストにおいて、再検査モードの有効/無効と再検査ソートモードの有効/無効との再検査設定(1)を行い、ハンドラが動作開始(2)し、DUT(15)がロード(3)され、テスト(4)され、上記テスト(4)終了後に、再検査ソートモードが有効でかつ初回測定でかつ再検査するカテゴリか?(5)が判断され、NOの場合には、カテゴリ毎に分類・収納(12)されて終了(13)し、YESの場合には、それらのDUT(15)を再検査カテゴリに一括収納(6)され、再検査モードがオートモードか?(7)が判断され、NOの場合には、ハンドラ(21)を一時停止(10)して、人手でトレイ(16)をローダ部(22)に移動(11)させ、YESの場合には、トレイ搬送装置(27)でローダ部(22)に転送(8)されて、再び上記ハンドラ(21)は動作開始(2)して2回目のDUT(15)テスト(4)を行ない、カテゴリ毎に分類・収納(12)してDUT(15)のテストを終了(13)する、ことを特徴とするICテスタ用ハンドラにおける再検査方法。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66