特許

J-GLOBAL ID：200903041164221982

ダイシングマークを有する積層シートと、積層シートのダイシングマークを検出するための装置

発明者： 稲井 雅之 ,  小池 重充 ,  小林 寛和 ,  清水 利通 ,  清水 学
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (1件)： 吉田 精孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-074379
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269165
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 ダイシングマークの検出を正確に行うことができる積層シートを提供する。【解決手段】 積層シート1の上面の4辺それぞれに沿って横断面U字形の直線溝2aを形成して、この溝2aの内面に露出した複数のマークパターン端の列によりダイシングマーク3aを構成している。溝内面に露出するマークパターン端の幅は溝底に向かうに従って徐々に大きくなるので、ダイシングマーク3aをより鮮明なものとすることができる。依って、ダイシングマーク3aを画像処理装置のカメラで撮像したときでも、ダイシングマーク3aを検出が容易に行えるしマーク検出の正確性も向上する。

請求項（抜粋）：

ダイシングマークを位置基準として利用して格子状にダイシングすることにより電子部品に対応した個々のチップに分断される積層シートであって、この積層シートは、マークパターンが形成された複数のシートを含むと共に、積層シート一面のマークパターン形成領域に形成された横断面U字形の直線溝の内面に露出した複数のマークパターン端の列により構成されたダイシングマークを有する、ことを特徴とするダイシングマークを有する積層シート。