特許
J-GLOBAL ID：200903041172411014
レーザ加工装置及び加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-125540
公開番号（公開出願番号）：特開平7-328782
出願日： 1994年06月07日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：
【要約】【目的】 被加工物を長時間安定して加工すること。【構成】 発振器1とアパーチャー11との間にプリブム10を設置する。そして、エキシマレーザビーム2の発振時間に応じてプリズム10を、移動手段が光軸に対して直交する方向に移動させることによって、アパーチャ11にいたるエキシマレーザビーム2の大きさを常に一定にさせ、被加工物に照射されるエキシマレーザビーム2のエネルギーを常に一定にする。従って、長時間安定して加工することができる。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発振する発振器と、前記発振器から発振されたレーザ光の一部をレーザ光路途中でカットするアパーチャ部材とを有するレーザ加工装置において、発振器とアパーチャ部材との間に、レーザ光の大きさを変化させる可変手段を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (2件)：
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