特許

J-GLOBAL ID：200903041178454459

光メモリ素子の製造方法

発明者： 石原 啓
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 真田 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281496
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108855
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 コア層及びクラッド層を樹脂製にすることで、コア層を導波する光を散乱させるための凹凸パターンを簡易に形成できるようにして、光メモリ素子を容易且つ安価に実現できるようにするとともに、形成すべき樹脂層(特に、光導波路であるコア層)の膜厚制御を容易にする。【解決手段】 表面に凹凸形状を有するスタンパ1上に、硬化性樹脂材からなるコア剤2を塗布し硬化させて樹脂製のコア層2を形成し、そのコア層2上に、硬化性樹脂材からなるクラッド剤3を介して樹脂製フィルム部材4を貼着した後、クラッド剤3を硬化させて樹脂製の第1クラッド層3を形成し、スタンパ1からこれらのコア層2と第1クラッド層3と樹脂製フィルム部材4とを一体に分離する。そして、コア層2上に、樹脂製の第2クラッド層を形成することで、1層分の光メモリ素子を製造する。

請求項（抜粋）：

表面に凹凸形状を有するスタンパ上に、所望の硬化性樹脂材からなるコア剤を塗布し硬化させて樹脂製のコア層を形成する第1工程と、該コア層上に、所望の硬化性樹脂材からなるクラッド剤を介して樹脂製フィルム部材を貼着する第2工程と、該クラッド剤を硬化させて樹脂製の第1クラッド層を形成する第3工程と、該スタンパから該コア層と該第1クラッド層と該樹脂製フィルム部材とを一体に分離する第4工程と、該コア層上に、樹脂製の第2クラッド層を形成する第5工程とをそなえて成ることを特徴とする、光メモリ素子の製造方法。

IPC (5件)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/12 ,  G11C 13/04 ,  G11C 17/00 580 ,  G11C 17/00

FI (6件)：

G11C 13/04 Z ,  G11C 17/00 580 D ,  G11C 17/00 580 E ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 Z

Fターム (10件)：

2H047KA03 ,  2H047KA11 ,  2H047KB08 ,  2H047PA02 ,  2H047PA21 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047RA04 ,  5B003AA09 ,  5B003AC01