水平型角速度センサおよび水平型角速度センサの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-246182
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074465
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、安価、かつ簡単な構成で角速度の検出精度を高める。【解決手段】圧電素子からなる四角柱21の先端部に重り28を設け、四角柱21に対して水平軸ω回りに回転角速度が作用したとき、四角柱21の長手方向X2に発生するコリオリ力を重り28に作用する重力モーメントによって励振方向X1と直交する水平軸ω方向(X3方向)に振動するように四角柱21を配設する。

請求項（抜粋）：

圧電素子からなる振動柱と、この振動柱の底部に設けられた台座と、前記振動柱の先端部に設けられた重りと、前記振動柱の長手方向側面に設けられた複数の励振電極および複数のコリオリ検出電極と、この励振電極に交流電圧を印加することにより、前記振動柱の長手方向を揺動軸にして前記振動柱を励振させる電圧源と、を備え、前記振動柱に対して水平軸回りに回転角速度が発生したとき、前記振動柱の長手方向に発生するコリオリ力を前記重りに作用する重力モーメントによって前記励振方向と直交する水平軸方向に振動するように前記振動柱を配設し、前記振動柱が水平軸方向に撓んだときの前記コリオリ電極の出力差を検出することにより、角速度を検出するようにしたことを特徴とする水平型角速度センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/22

FI (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 Z , H01L 41/22 Z

Fターム (7件)：

2F105AA01 , 2F105BB02 , 2F105BB15 , 2F105BB20 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

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