波長分散型蛍光X線分析方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-032878
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221753
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】波長分散型で走査型の蛍光X線分析方法等において、検出器から発生し波高分析器へ送られるパルスのうち、測定すべき蛍光X線の波長に対応した電圧のパルスを正確に選別でき、従って正確な分析ができる方法等を提供する。【解決手段】検出器8 における入射される2次X線7 のエネルギーE と発生するパルスの電圧との比例関係からのずれを、例えばエネルギーの関数f(E)としてあらかじめ求めておき、増幅器16の所定の増幅率G 等を調節する際に、前記関数f(E)を適用して補正する。

請求項（抜粋）：

試料に1次X線を照射し、発生した2次X線を分光素子で分光し、分光される2次X線の波長を変化させながら、所定の電圧を印加した検出器に入射させて、前記所定の印加電圧と2次X線のエネルギーに応じた電圧のパルスを2次X線の強度に応じた数だけ発生させ、発生したパルスの電圧を増幅器により所定の増幅率で増幅し、増幅されたパルスのうち所定の電圧の範囲のものを波高分析器で選別するとともに、前記波高分析器へ送られるパルスの電圧を一定にするために、前記所定の印加電圧または所定の増幅率を調節し、前記選別されたパルスの計数率を計数手段で求める波長分散型蛍光X線分析方法において、前記検出器における入射される2次X線のエネルギーと発生するパルスの電圧との比例関係からのずれを、前記エネルギーの関数または前記分光素子の格子面間隔と回折角の関数としてあらかじめ求めておき、前記所定の印加電圧または所定の増幅率を調節する際に、前記関数を適用して補正することを特徴とする波長分散型蛍光X線分析方法。

Fターム (12件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001EA01 , 2G001EA03 , 2G001EA08 , 2G001FA03 , 2G001FA06 , 2G001FA24 , 2G001GA09 , 2G001JA06

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭48-034587
特公昭36-004692

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