特許

J-GLOBAL ID：200903041214330680

導波路型光検出器及びその導波光検出方法

発明者： 高浦 淳
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-324111
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174953
出願日： 1992年12月03日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 受光面前方に配置された導波層傾斜部の傾斜端における光量損の導波光入射角による変動を補正し、受光面での基板による導波光吸収損失を抑制し高光検出効率を得ることが可能な導波路型光検出器及びその導波光検出方法に関する。【構成】 少なくとも、光導波層3と、この光導波層3の下部の基板1上に形成され導波光aを検出する光検出器4とを備えた導波路型光検出器において、光検出器4の導波光入射端4x側に導波層傾斜部5を形成し、この導波層傾斜部5の傾斜端5a,5bの形状を傾斜端5a,5b上における導波光aの波面形状と略一致させて形成した。

請求項（抜粋）：

少なくとも、光導波層と、この光導波層の下部の基板上に形成され導波光を検出する光検出器とを備えた導波路型光検出器において、前記光検出器の導波光入射端側に導波層傾斜部を形成し、この導波層傾斜部の傾斜端の形状を前記傾斜端上における前記導波光の波面形状と略一致させて形成したことを特徴とする導波路型光検出器。