パターン検査装置、パターン検査方法、パターン検査プログラムを格納した記録媒体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-181013
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009656
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】設計データ展開回路の不具合による設計側データのパターン欠陥に起因する無駄な検査時間を削減することが可能なパターン検査装置を提供する。【解決手段】 CPU10と、測定パターンデータ生成部(2,3,4,5,6,7)と、設計側データ生成部(12,13)と、測定パターンデータと設計側データとを比較する比較回路14と、リトライ必要性判定手段69と、繰り返し検査命令手段61とを少なくとも有する。リトライ必要性判定手段69により、検査中にあらかじめ指定された領域範囲内に指定された量以上のパターン欠陥があると判定した場合に、繰り返し検査命令手段61によりそこを含む領域に関して、自動的に2回以上繰り返し検査する。また、CPU10に対して、一定時間以上パターン検査装置側から反応がない場合(監視用に設けてあるフラグに異常が認められた場合)に、正常な動作していたところにまで立ち戻って検査を続行する。

請求項（抜粋）：

被測定試料のパターンに対応した測定パターンデータを生成する測定パターンデータ生成部と、設計パターンデータにもとづいて設計側データを生成する設計側データ生成部と、前記測定パターンデータと設計側データを比較する比較回路と、該比較回路の出力にもとづいて繰り返し検査の必要性を判定するリトライ必要性判定手段と、該リトライ必要性判定手段の出力により、あらかじめ指定された特定の領域について、繰り返し検査を命令する繰り返し検査命令手段とを有することを特徴とするパターン検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 , G01B 11/24 , G03F 1/08 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 21/88 E , G01B 11/24 C , G01B 11/24 K , G03F 1/08 S , H01L 21/66 J , H01L 21/30 502 V

Fターム (43件)：

2F065AA03 , 2F065AA51 , 2F065BB02 , 2F065CC18 , 2F065CC19 , 2F065CC25 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF55 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065MM03 , 2F065MM22 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ25 , 2F065QQ32 , 2F065RR08 , 2F065SS06 , 2F065SS13 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2H095BD04 , 2H095BD28 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106BA04 , 4M106BA20 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DJ01 , 4M106DJ14 , 4M106DJ18 , 4M106DJ21 , 4M106DJ39

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭61-279128
特開昭61-279128
特開昭59-192944

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