特許

J-GLOBAL ID：200903041223439903

ねじ溝型真空ポンプ

発明者： 大林 哲郎 ,  池上 達治 ,  井口 昌司
出願人/特許権者： 株式会社大阪真空機器製作所
代理人 (1件)： 藤本 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046991
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248386
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【目的】 潤滑剤による軸受の寿命の問題を解消し、且つ、耐放射性に優れ、全ての種類の気体を吸入して圧縮排気可能となり、構造が簡単で且つ装置の小型化を図って安価に提供できると共に、排気能力を低下させることなく回転軸を軸支することができるようにする。【構成】 複数段のポンプ部を有するねじ溝型真空ポンプにおいて、前記回転軸22は一対のラジアル気体軸受23、24とスラスト気体軸受25を介して前記ケーシーング1に保持され、しかも、前記一方のラジアル気体軸受23はロータ4及びステータ10の近傍に位置し、前記スラスト気体軸受25は該ラジアル気体軸受23よりもロータ4及びステータ10から離間した位置に設けられている。

請求項（抜粋）：

吸気口2及び排気口3とを有するケーシーング1内に、複数の内外回転円筒部6、7 を有するロータ4と、該内外回転円筒部6、7 間に間隙を有して対向する複数の内外ステータ10とが設けられ、これら内外回転円筒部6、7 及び内外ステータ10との少なくとも一方の周面には、ねじ溝16、17、18、19が形成され、且つ、前記ロータ4は回転軸22を介して回転可能とされるねじ溝型真空ポンプにおいて、前記回転軸22は一対のラジアル気体軸受23、24とスラスト気体軸受25を介して前記ケーシーング1に保持され、しかも、前記一方のラジアル気体軸受23はロータ4及びステータ10の近傍に位置し、前記スラスト気体軸受25は該ラジアル気体軸受23よりもロータ4及びステータ10から離間した位置に設けられてなることを特徴とするねじ溝型真空ポンプ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-075387
  
• 特開昭51-091008
  
• 特開昭64-012123