発光装置の作製方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-169074
公開番号（公開出願番号）：特開2002-064207
出願日： 2001年06月05日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】トランジスタの製造に係るフォトリソグラフィ工程を削減することにより製造工程の歩留まりの向上と、製造期間の短縮を図る安価な発光装置およびそれを用いた電気器具を提供する。【解決手段】絶縁体100上に形成された半導体膜101の上方に設けたゲート電極115を複数の層からなる導電膜110,114で形成し、その複数の層のそれぞれのエッチングレートの差(エッチング時の選択性)を利用して、半導体膜101の内部に形成される不純物領域(特にLDD領域111,112)の不純物濃度を制御する。

請求項（抜粋）：

絶縁体上に半導体膜を形成する第1工程と、前記半導体膜を覆うゲート絶縁膜を形成する第2工程と、前記ゲート絶縁膜上に第1の導電膜及び第2の導電膜を形成する第3工程と、前記第2の導電膜をエッチングして第2の導電膜からなる電極を形成する第4工程と、前記第2の導電膜からなる電極を用いたセルフアラインにより前記半導体膜にn型不純物元素を添加する第5工程と、前記第2の導電膜からなる電極を用いたセルフアラインにより前記第1の導電膜をエッチングして第1の導電膜からなる電極を形成する第6工程と、前記第2の導電膜からなる電極の線幅をエッチングにより狭めて第2のゲート電極を形成する第7工程と、前記第2のゲート電極を用いたセルフアラインにより前記半導体膜にn型不純物元素を添加する第8工程と、前記第1の導電膜からなる電極の線幅をエッチングにより狭めて第1のゲート電極を形成する第9工程と、を含むことを特徴とする発光装置の作製方法。

IPC (12件)：

H01L 29/786 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 , H01L 21/28 , H01L 21/28 301 , H01L 21/336 , H01L 21/8234 , H01L 21/8238 , H01L 27/08 331 , H01L 27/088 , H01L 27/092 , H01L 29/43

FI (14件)：

G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 Z , H01L 21/28 F , H01L 21/28 301 R , H01L 27/08 331 E , H01L 29/78 617 L , H01L 29/78 616 A , H01L 29/78 617 K , H01L 27/08 321 D , H01L 27/08 321 E , H01L 27/08 321 N , H01L 27/08 102 B , H01L 27/08 102 C , H01L 29/62 G

Fターム (107件)：

4M104AA09 , 4M104BB18 , 4M104BB30 , 4M104BB32 , 4M104CC05 , 4M104DD67 , 4M104FF08 , 4M104FF09 , 4M104FF13 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104HH03 , 4M104HH16 , 4M104HH20 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094CA19 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EA10 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB01 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5F048AA09 , 5F048AB10 , 5F048AC01 , 5F048AC04 , 5F048AC10 , 5F048BA16 , 5F048BB01 , 5F048BB02 , 5F048BB04 , 5F048BB09 , 5F048BB11 , 5F048BB12 , 5F048BC06 , 5F110AA14 , 5F110AA16 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD12 , 5F110DD15 , 5F110DD18 , 5F110EE01 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE28 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF35 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG32 , 5F110GG34 , 5F110GG43 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ23 , 5F110HL01 , 5F110HL02 , 5F110HL04 , 5F110HL06 , 5F110HL12 , 5F110HL23 , 5F110HM13 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN22 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN39 , 5F110NN40 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110NN78 , 5F110PP01 , 5F110PP03 , 5F110PP34 , 5F110PP35 , 5F110QQ04 , 5F110QQ09 , 5F110QQ11 , 5F110QQ19 , 5F110QQ28

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