特許
J-GLOBAL ID:200903041230161902

光の反射により光学的に読み取られる測微尺とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 保男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-012300
公開番号(公開出願番号):特開平6-094401
出願日: 1992年01月27日
公開日(公表日): 1994年04月05日
要約:
【要約】【目的】 食刻により形成された刻み目に比べて明確な輪郭と平らな表面をもつ目盛を備えた測微尺を提供すること。【構成】 本発明の測微尺は、光の吸収が少ない地の面(2)を持つ堅い基板(1)と、地の面の上に形成され地の面とのコントラストにより電気-光学読取り装置により検出される目盛等の図形マーク(6)を含む。図形マーク(6)は光を良く吸収する物質の薄層により形成される。地の面(2)は、好ましくはアルミニウムのような光を良く反射する金属の層により形成される。地の面(2)は、好ましくは、2酸化珪素の層のような透明な薄い保護層(3)で覆われる。図形マーク(6)は、好ましくはクロムまたはクロムを主成分とする組成物により形成される。本発明の方法では、図形マーク(6)は、写真食刻と析出により形成する。また反射層(2),保護層(3),目盛(6)を、真空蒸着により一連の連続した工程で形成するのが好ましい。
請求項(抜粋):
光の吸収が少ない地の面(2)を持つ堅い基板(1)と、地の面の上に形成され地の面とのコントラストにより電気-光学読取り装置により検出される図形マーク(6)を含む光の反射により光学的に読み取られる測微尺であって、前記図形マーク(6)が、前記地の面(2)の上に析出された光を良く吸収する物質の薄層により形成されていることを特徴とする測微尺。
IPC (2件):
G01B 3/02 ,  G01B 11/00
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-286203
  • 特開昭56-166713

前のページに戻る