特許

J-GLOBAL ID：200903041233746421

真空管の排気装置

発明者： 井上 栄典 ,  市村 弘 ,  中村 考雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244648
公開番号（公開出願番号）：特開平6-096675
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 真空管の排気作業を容易にし、排気の信頼性を向上し、保守を容易にする。【構成】 真空ポンプに接続された排気ヘッド円筒2の上部に雄ねじ部2aを設け、排気ヘッド円筒2の上部内側に突出部15を設け、突出部15の上に弾性変形部材11および押圧リング10を載置し、回転ねじ締め金具1に挿入穴9を設け、回転ねじ締め金具1の内面に雌ねじ部1aを設け、雄ねじ部2aと雌ねじ部1aとを螺合し、回転ねじ締め金具1の外周部に歯車状凹凸14を設け、排気ヘッド筒部2に往復回転エアモータを取り付け、往復回転エアモータの出力軸に回転軸7を取り付け、排気ヘッド筒部2に回転軸7を回転可能に支持し、回転軸7に歯車3を取り付け、歯車状凹凸14と歯車3とを噛み合わせる。

請求項（抜粋）：

真空ポンプに接続されかつ上部に雄ねじ部が設けられた排気ヘッド筒部と、挿入穴を有しかつ上記雄ねじ部と螺合する雌ねじ部が設けられた回転ねじ締め金具と、上記排気ヘッド筒部と上記回転ねじ締め金具との間に設けられた弾性変形部材と、上記回転ねじ締め金具の外周部に設けられた接触従動部材と、上記接触従動部材と接触した接触駆動部材と、上記接触駆動部材を作動する駆動手段とを具備することを特徴とする真空管の排気装置。