走査型プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-178446
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094854
出願日： 1998年06月25日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】走査応答性に優れていると共に、常に正確な測定情報を得ることが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】三次元方向に移動可能な移動端を有するスキャナ28と、この移動端に着脱自在に取り付けられたカンチレバー30と、カンチレバーに所定の光を照射可能な発光素子32及びカンチレバーからの反射光を受光可能な受光素子34を有する変位センサと、スキャナの移動端の移動中、発光素子からの光が常時カンチレバーの一定位置に一定の入射角度で照射されるように、変位センサの位置を調整可能な位置調整機構とを備える。位置調整機構は、所定の形状のガイド面52を有する固定系と、変位センサを支持した状態でガイド面に沿って移動可能な可動系と、可動系をガイド面に沿って移動させることによって、変位センサを所定方向に所定量だけ平行移動及び回転させる駆動系とを備える。

請求項（抜粋）：

三次元方向に移動可能な移動端を有するスキャナと、このスキャナの移動端に着脱自在に取り付けられたカンチレバーと、このカンチレバーの変位状態を光学的に検出するように、前記カンチレバーに所定の光を照射可能な発光素子及び前記カンチレバーから反射した反射光を受光可能な受光素子を有する変位センサと、前記スキャナの移動端を移動させている間、前記発光素子から発光した光が前記カンチレバーの一定位置に一定の入射角度で照射されるように、前記変位センサの位置を調整可能な位置調整機構とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 37/00 , G01B 11/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (4件)：

G01N 37/00 A , G01B 11/00 B , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 X

引用特許：

審査官引用 (2件)

走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-073560 出願人：オリンパス光学工業株式会社
原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-114924 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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