特許

J-GLOBAL ID：200903041240109780

変位計

発明者： 長山 秀徳
出願人/特許権者： 株式会社小野測器
代理人 (1件)： 山田 正紀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-333778
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190721
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】常に十分なレベルの検出信号を得ることのできる、スペックルパターンを用いた変位計を提供する。【構成】受光器の受光面上に形成されたスペックルパターンの、検出対象とされる所望の空間周波数成分が所定強度以下となったときに、レーザ光の波長が変更され、これによりパターンの全く異なるスペックルパターンを形成して所定強度以上の所望の空間周波数成分を得るように構成した。

請求項（抜粋）：

被測定体にレーザ光を照射する、該レーザ光の波長が制御されるレーザ光源と、前記被測定体から反射した前記レーザ光のスペックルパターンに含まれる所定の空間周波数成分を表わす、互いに位相が90度異なる2つの信号が抽出されるように受光素子が配列された受光器と、前記2つの信号に基づいて、前記所定の空間周波数成分が所定のパワー以下であると判定されるときに前記レーザ光の波長が変更されるように前記レーザ光源を制御する制御器とを備えたことを特徴とする変位計。