特許

J-GLOBAL ID：200903041242959721

光学式変位計

発明者： 桑原 義治 ,  奈良 治 ,  佐久間 健司
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-311915
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126568
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】 三角測量法を使った光学式変位計において、高い横分解能と広い測定範囲を両立させる。【構成】 照明系に設けた投光レンズ32の位置を変化させるレンズ駆動手段(34)を設け、信号処理回路20によって求められる測定面10の位置に応じて、該測定面10が光ビーム14のウェストレングス内に入るように、前記レンズ駆動手段(34)により投光レンズ32の位置をフィードバック制御して、測定面10上に結像されるビーム径を、測定面10の位置変化に追従させながら、常に一定の細い径に制御する。

請求項（抜粋）：

測定面に光ビームを照射する照明系と、測定面からの前記光ビームの反射光の少なくとも一部を結像する受光レンズと、一次元受光面上の結像点の位置に対応した検出信号を生成する一次元光電センサと、該検出信号から前記結像点の位置に対応した変位信号を生成する信号処理回路とを含み、該変位信号により測定面の位置又は変位を求める、三角測量法を使った光学式変位計において、前記照明系に設けた投光レンズの位置を変化させるレンズ駆動手段と、前記信号処理回路によって求められる測定面の位置に応じて、該測定面が前記光ビームのウェストレングス内に入るように、前記レンズ駆動手段により投光レンズの位置をフィードバック制御するレンズ位置制御回路と、を備えたことを特徴とする光学式変位計。

IPC (2件)：

G01C 3/06 ,  G01B 11/24

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-171302
  
• 特開昭57-179704