特許
J-GLOBAL ID：200903041244771142
搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-317430
公開番号（公開出願番号）：特開平7-147264
出願日： 1993年11月22日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 保持部材の相対的接近によって、その支持部材間に水平に渡された保持棒で被処理基板を保持し、この状態で被処理基板を所定位置まで搬送する如く構成された搬送装置において、支持部材が破損した場合の落下を防止する。【構成】 回転軸32に対して固定されるサポートベルト51を、保持部材31の外側に装着し、サポートベルト51のサイドカバー53、54を、支持部材33、34と一体化させる。支持部材33、34の上方基部が応力負荷等により破壊されても、サポートベルト51によってその落下が防止される。
請求項（抜粋）：
一対の保持部材を有し、この保持部材は、軸体の下方に設けられた支持部材間に水平に渡された保持棒を具備し、さらに各保持部材の前記保持棒の接近によって被処理基板をこれら保持棒間で保持自在となるように構成され、そのように保持した被処理基板を、所定位置まで搬送自在に構成された搬送装置において、外側から前記支持部材と一体化される支持体を、前記軸体に対して固定したことを特徴とする、搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B65G 49/07
, H01L 21/68
