特許

J-GLOBAL ID：200903041247711841

非対称強誘電体コンデンサ及びその形成方法

発明者： ウィリアム・ラルソン ,  ポール・ジェイ・スキュール
出願人/特許権者： ラムトロン・インターナショナル・コーポレーション
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-056269
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013572
出願日： 1993年03月17日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 非対称動作を行い集積回路に使用する強誘電体コンデンサ。【構成】 このコンデンサは、下部電極と、この下部電極上の強誘電体層と、下部電極と強誘電体層の側面上の誘電体スペーサと、強誘電体層上の上部電極とを備えている。下部と上部の電極は、異なる材料から成る。或いはまた、強誘電体層の上部表面内に、イオンインプランテーション領域を形成している。非対称強誘電体コンデンサを形成する方法も開示されている。

請求項（抜粋）：

集積回路用の非対称強誘電体コンデンサであって、側面を有する下部電極と、前記下部電極上に位置して側面を有する強誘電体層と、前記下部電極と前記強誘電体層のそれぞれの前記側面に位置するスペーサと、前記強誘電体層上に位置し、前記下部電極の材料とは異なった材料から成る上部電極とを備えたことを特徴とする非対称強誘電体コンデンサ。

IPC (2件)：

H01L 27/108 ,  H01L 27/04

FI (2件)：

H01L 27/10 325 J ,  H01L 27/10 325 M

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-082265
  
• 特開平4-080959