特許

J-GLOBAL ID：200903041247886510

洗浄方法

発明者： 森田 博志
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174302
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007073
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】ガス溶解水を用いて被洗浄物の表面に付着した異物を効果的に除去することができる洗浄方法を提供する。【解決手段】水素ガス、酸素ガス及び希ガスより選ばれる1種又は2種以上のガスを溶解したガス溶解水を減圧し、減圧することにより発生した微細気泡と被洗浄物とを接触させることを特徴とする洗浄方法。

請求項（抜粋）：

水素ガス、酸素ガス及び希ガスより選ばれる1種又は2種以上のガスを溶解したガス溶解水を減圧し、減圧することにより発生した微細気泡と被洗浄物とを接触させることを特徴とする洗浄方法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 647 ,  C11D 7/04

FI (2件)：

H01L 21/304 647 Z ,  C11D 7/04

Fターム (4件)：

4H003DA15 ,  4H003DC04 ,  4H003EA31 ,  4H003FA20