特許
J-GLOBAL ID：200903041249229613
カンチレバーの製造方法及びそれを備えた 走査型プローブ顕微鏡
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-058879
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275190
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 高耐久性の走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーを容易に製造する。【構成】 可撓性板材(12)とその一端に位置し板面からほぼ垂直方向に突出した基礎となる突起(13)を有する第1素材を用意し(第1工程)、第1素材の突起(13)の尖端にメッキ法によりメッキ針を形成する(第2工程)。
請求項（抜粋）：
第1工程:可撓性板材と、その一端に位置し板面からほぼ垂直方向に突出した基礎となる突起を有する第1素材を用意する工程;第2工程:前記第1素材の突起の尖端にメッキ法によりメッキ針を形成する工程;からなるカンチレバーの製造方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
