特許

J-GLOBAL ID：200903041249560280

トルクセンサ素子及びその製造方法

発明者： 花木 敦司 ,  北地 一成
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220570
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041833
出願日： 1999年08月03日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 高い機械的強度と高い検出精度を併せもつトルクセンサ素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明のトルクセンサ素子は、非磁性体からなる基体11に、磁性体からなる皮膜13が形成され、皮膜13の磁歪により回転体のトルクを検出する素子で、皮膜13は、可燃性気体および/または可燃性液体を燃料とし、この燃料を酸素を用いて燃焼させて0.3〜0.9MPaの燃焼圧力を有する火炎とし、この火炎中に溶射材料粉末を供給する高速ガス炎溶射法により形成され、基体11の透磁率が2以下であり、かつ基体11と皮膜13の熱膨張係数の差が1.5×10-6/°C以下であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

非磁性体からなる基体に、磁性体からなる皮膜が形成され、該皮膜の磁歪により回転体のトルクを検出する素子であり、前記皮膜は、可燃性気体および/または可燃性液体を燃料とし、この燃料を酸素を用いて燃焼させて0.3〜0.9MPaの燃焼圧力を有する火炎とし、この火炎中に溶射材料粉末を供給する高速ガス炎溶射法により形成してなるトルクセンサ素子において、前記基体の透磁率が2以下であり、かつ該基体と前記皮膜の熱膨張係数の差が1.5×10-6/°C以下であることを特徴とするトルクセンサ素子。

IPC (2件)：

G01L 3/10 ,  C23C 4/12

FI (2件)：

G01L 3/10 A ,  C23C 4/12

Fターム (9件)：

4K031AA01 ,  4K031AA06 ,  4K031AB07 ,  4K031CB21 ,  4K031CB24 ,  4K031DA01 ,  4K031FA01 ,  4K031FA10 ,  4K031FA12