オゾン発生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-093589
公開番号（公開出願番号）：特開平11-292518
出願日： 1998年04月06日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：

【要約】【課題】高誘電率を有する誘電体を密着性良く電極に接着したオゾン発生装置を提供する。【解決手段】オゾン発生装置10は一方の電極1と、他方の電極2とを備え、一方の電極1と他方の電極2間に高電圧が印加される。一方の電極1は金属製基板からなり、基板の表面には下部誘電体3aと上部誘電体3bとが設けられている。下部誘電体3aは一方の電極1を構成する基板金属を主成分とする材料からなり、上部誘電体3bは基板金属以外の金属を主成分とする材料からなっている。

請求項（抜粋）：

一方の電極と、この一方の電極と間隙をおいて配置され、一方の電極との間に高電圧が印加される他方の電極とを備え、一方の電極は少なくとも一種の金属からなる金属製基板を有し、一方の電極の他方の電極側に、金属製基板の金属を主成分とする下部誘電体と、金属製基板の金属以外の金属を主成分とする上部誘電体とが順次設けられていることを特徴とするオゾン発生装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

放電反応装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-120870 出願人：株式会社荏原製作所

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