特許

J-GLOBAL ID：200903041253368695

作業ガス分配デバイス及びこれを有する作業ガス供給設備

発明者： アンドレ・シャバンド ,  マルク・ブルジョワ ,  ノルベール・ファンジャ
出願人/特許権者： レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード ,  アルプ・システム・オトマシオン ,  エタブリッスマン・ラベイル
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-364744
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316603
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】使い易いディスプレイを有する分配デバイスを提供する。【解決手段】作業ガス分配デバイスは一連のパイプと機能部材25、25Aと指令制御ユニット35、35Aとを具備する。一連のパイプは少なくとも1つの作業ガス源と消費ステーションに向かって作業ガスを搬送するための少なくとも1つの出口パイプとに接続される。指令制御ユニットは、機能部材と連絡するための手段37と、機能部材に関するタスクを制御するための手段39と、制御手段を操作するための手段45と、を具備し、これ等はデバイスのオペレータにより作動可能である。操作手段は、対応のタスクの制御に関連する主制御ゾーンを有する感接触スクリーン47を具備する。主制御ゾーンは、タスクに関連し且つ感接触スクリーン上に永久的に表示されるグラフィックにより区画される。

請求項（抜粋）：

作業ガスを分配するための分配デバイスであって、少なくとも1つの作業ガス源(5、7)と、消費ステーション(10B)に向かって前記作業ガスを搬送するための少なくとも1つの出口パイプ(10、10A)とに接続された一連のパイプ(15、21、23)と、前記一連のパイプを通る前記作業ガスの流を調整するために前記一連のパイプ(15、21、23)に配設されたバルブ(27、29、27A、29A)と、ガス漏れディテクタ(34、34A)とを特に含む機能部材(25、25A)と、前記機能部材(25、25A)と連絡するための連絡手段(37)と、前記機能部材(25、25A)に関するタスクを制御するための制御手段(39)と、前記制御手段(39)を操作するための操作手段(45)と、を含み、これ等は前記分配デバイス(9、9A)のオペレータにより作動可能であるところの指令制御ユニット(35、35A)と、を具備し、前記操作手段(45)は、対応のタスクの制御に関連する主制御ゾーン(60、61、62、63、64、65、66、67、68)を有する感接触スクリーン(47)を具備することと、前記主制御ゾーン(60、61、62、63、64、65、66、67、68)は、前記タスクに関連し且つ前記感接触スクリーン(47)上に永久的に表示されるグラフィック(50、51、52、53、54、55、56、57、58)により区画されることと、を特徴とする分配デバイス。

IPC (6件)：

G05B 23/02 301 ,  B01J 4/00 102 ,  G01N 27/00 ,  G01N 27/04 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/304 648

FI (6件)：

G05B 23/02 301 T ,  B01J 4/00 102 ,  G01N 27/00 K ,  G01N 27/04 Q ,  H01L 21/304 648 L ,  H01L 21/302 B