特許

J-GLOBAL ID：200903041263948002

水素ガスセンサ

発明者： 小橋 秀章
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-129666
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323441
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 取り扱いが容易な水素ガスセンサを提供する。【解決手段】 測定子1としての光導波路2と膨張薄膜5とが貼り合わされた構造を有しているので、裸光ファイバが露出した従来構造に比べて強度が高い。しかも、光導波路2と膨張薄膜5とが片持ち梁状構造を有しているので、測定子1の膨張薄膜5にかかるストレスが小さい。また、光導波路2の固定端側に発光素子11や受光素子12を並列に配置することができるので、小型化することができる。

請求項（抜粋）：

光導波路からなり、分岐側を固定端とし、合流側を自由端とする片持ち梁状の光分岐器と、該光分岐器の上部クラッド側に貼り合わされ、水素を吸収すると膨張する膨張薄膜と、上記光分岐器の合流側の端面に設けられ合流側の光導波路から出射した光を該合流側の光導波路に戻す反射鏡と、上記光分岐器の分岐側の端面の一方の光導波路に接続された発光素子と、上記光分岐器の分岐側の端面の他方の光導波路に接続された受光素子とを備えたことを特徴とする水素ガスセンサ。

IPC (3件)：

G01N 19/10 ,  G01N 19/00 ,  G01N 21/41

FI (3件)：

G01N 19/10 Z ,  G01N 19/00 H ,  G01N 21/41 Z

Fターム (9件)：

2G059AA10 ,  2G059BB01 ,  2G059CC20 ,  2G059EE01 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01