特許

J-GLOBAL ID：200903041270561148

遮光性薄膜形成組成物

発明者： 鈴木 勝 ,  木下 暢 ,  上原 賢 ,  渡辺 務 ,  徳田 剛 ,  西原 伸彦
出願人/特許権者： 住友セメント株式会社 ,  神東塗料株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093174
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289336
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 電気抵抗が高く、環境汚染性が低く、十分に黒色であり、しかも耐熱性も高い遮光性薄膜を形成し得る組成物を提供する。【構成】 背面露光法に用いられる遮光性薄膜形成組成物であって、ネガ型レジスト30〜80重量部に対し硫化ビスマスを70〜20重量部配合してなる遮光性薄膜組成物。

請求項（抜粋）：

背面露光法に用いられる遮光性薄膜形成組成物であって、ネガ型レジスト30〜80重量部に対し硫化ビスマスを70〜20重量部配合してなることを特徴とする遮光性薄膜形成組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/038 ,  C01G 29/00 ,  C09K 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/004 521