特許
J-GLOBAL ID：200903041273122889
波面センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-221970
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086689
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 本発明は使用環境条件や入射光の条件が変化しても高精度に波面計測を行うことができる波面センサを得ることを目的とする。【構成】 レンズアレー9と、このレンズアレーの集光スポット位置を検出する光電変換器10と、被測定波面と上記レンズアレーを共役関係にする光学系と、を有し被計測光の波面を計測する波面センサにおいて、波面センサの周囲温度を測定する温度センサ101と、この温度センサの出力を基に温度変化により生じる誤差波面を求める誤差波面演算器102と、上記光電変換器の出力を基に求めた計測波面から上記誤差波面を差し引く波面演算器103とを設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
レンズアレーと、このレンズアレーの集光スポット位置を検出する光電変換器と、被測定波面と上記レンズアレーを共役関係にする光学系と、を有し被計測光の波面を計測する波面センサにおいて、温度センサと、この温度センサの出力を基に波面センサの温度変化により生じる誤差波面を求める誤差波面演算器と、上記光電変換器の出力を基に求めた計測波面から上記誤差波面を差し引く波面演算器と、を設けたことを特徴とする波面センサ。
IPC (2件)：
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