基板搬送装置及び基板搬送方法、露光装置及び露光方法、デバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2004014945
公開番号（公開出願番号）：WO2005-036623
出願日： 2004年10月08日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：

投影光学系と液体とを介したパターンの像によって露光された基板を搬送する基板搬送装置は、前記基板を支持する基板支持部材と、前記基板支持部材と、前記基板の裏面のうち少なくとも一部の領域との少なくとも一方に付着した前記液体を除去する液体除去機構とを備える。

請求項（抜粋）：

投影光学系と液体とを介したパターンの像によって露光された基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板を支持する基板支持部材と、前記基板支持部材と、前記基板の裏面のうち少なくとも一部の領域との少なくとも一方に付着した前記液体を除去する液体除去機構とを備えることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (7件)：

H01L 21/677 , H01L 21/027 , G03F 7/20 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/304 , B08B 3/02

FI (9件)：

H01L21/68 B , H01L21/30 502J , G03F7/20 521 , B65G49/06 A , B65G49/07 C , H01L21/304 651G , H01L21/304 651L , H01L21/304 651Z , B08B3/02 F

Fターム (43件)：

3B201AA47 , 3B201BB01 , 3B201BB22 , 3B201BB83 , 3B201BB92 , 3B201BB93 , 3B201BC01 , 3B201CC12 , 3B201CC14 , 3B201CC15 , 3B201CD31 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA08 , 5F031GA35 , 5F031GA43 , 5F031HA14 , 5F031HA33 , 5F031HA48 , 5F031HA57 , 5F031HA59 , 5F031HA74 , 5F031JA01 , 5F031JA22 , 5F031MA27 , 5F031NA04 , 5F031NA15 , 5F031PA24 , 5F031PA25 , 5F046CB01 , 5F046CB12 , 5F046CB26 , 5F046CC01 , 5F046CD01 , 5F046CD04 , 5F046CD05 , 5F046CD06 , 5F046CD07

引用特許：

出願人引用 (1件)

国際公開第99/49504号パンフレット

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