特許
J-GLOBAL ID：200903041274880710
アルカリ現像型感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180630
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027435
出願日： 1991年07月22日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】 基材の表面温度が常温であり、圧着ロール温度の変動差が大きくても基材との密着性および追従性にすぐれ、しかも温度変化による寸法変化が大きい基材との密着性および追従性もすぐれたレジストを形成しうるアルカリ現像型感光性樹脂を提供すること。【構成】 (A) カルボキシル基含有熱可塑性樹脂、(B) ポリエステルポリオールまたはポリエーテルポリオールに多価イソシアネートを反応させたのち、(メタ)アクリル系モノマーを反応させてなるウレタンアクリルオリゴマー、長鎖ポリアルキレングリコールのモノ(メタ)アクリル酸エステルおよびこれら以外のエチレン性不飽和単量体を含むエチレン性不飽和化合物の混合物、および(C) 光重合開始剤を含有してなる。
請求項（抜粋）：
(A) カルボキシル基含有熱可塑性樹脂、(B) ポリエステルポリオールまたはポリエーテルポリオールに多価イソシアネートを反応させたのち、(メタ)アクリル系モノマーを反応させてなるウレタンアクリルオリゴマー、長鎖ポリアルキレングリコールのモノ(メタ)アクリル酸エステルおよびこれら以外のエチレン性不飽和単量体を含むエチレン性不飽和化合物の混合物、および(C) 光重合開始剤を含有してなるアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/027 513
, C08F299/02 MRS
, C08F299/06 MRX
, G03F 7/027 502
, G03F 7/038 501
, H01L 21/027
, H05K 3/06
