特許
J-GLOBAL ID：200903041279146771
ウエハレス測長レシピ生成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-187015
公開番号（公開出願番号）：特開2004-031709
出願日： 2002年06月27日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】測長レシピを製造ラインの運転を一時停止させることなしに自動的に生成できる装置を提供すること。【解決手段】CADデータに従ってウエハ上に形成された転写パターンを評価するための寸法測長SEMを実施するための測長レシピを生成するため、CADデータに基づいてCAD上でのアライメント指定を行うCADアライメント指定部32Bと、測長すべきウエハ上の位置の座標を指示すると共に測長タイプを指示するためのCAD測長位置指示部32Aとを備え、CADアライメント指定部32BとCAD測長位置指示部32Aとからのデータに基づいて測長レシピを作成するようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
CADデータに従ってウエハ上に形成された転写パターンを評価するための寸法測長SEMを実施するための測長レシピを生成する装置であって、
前記CADデータに基づいてCAD上でのアライメント指定を行うアライメント指定手段と、
測長すべきウエハ上の位置の座標を指示する座標指示手段と、指示された座標のそれぞれについて測長タイプを指示するための測長タイプ指示手段と、
前記アライメント指定手段、座標指示手段及び測長タイプ指示手段に応答し、測長レシピを作成するレシピ作成手段と
を備えたことを特徴とするウエハレス測長レシピ生成装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/66 Z
, H01L21/66 J
, G01B15/00 B
2F067AA03
, 2F067AA21
, 2F067AA26
, 2F067BB01
, 2F067CC17
, 2F067EE10
, 2F067HH06
, 2F067JJ05
, 2F067RR29
, 2F067RR30
, 2F067RR35
, 4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA39
, 4M106DB05
, 4M106DJ04
