特許

J-GLOBAL ID：200903041279541468

4分の1波長送電線を用いる多極プラズマ・システムのための改善された電力配分

発明者： フランク ド フランチェスコ
出願人/特許権者： ザ ビーオーシー グループ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-150204
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008096
出願日： 1995年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 1/4波長伝送線の特性を利用して平衡電力を複数のパワード電極に供給する多重電極プラズマ・リアクタ電力スプリッタ及び送達システムを開示する。【構成】 各電極は、N=0,1,2,...である、負荷整合ネットワークの出力における共通点に接続された、分離(2N+1)λ/4波長ケーブルにより電力を供給される。プラズマ負荷を標準ネットワークにより更に効率的に整合されるものに変換するためにこれらの線のインピーダンス変換特性も採用される。また、ワーキング容積にわたりリアクティブ・プラズマの最大均等性を達成するために単一の大きなアクティブ電極を上述の配分スキームにより電力供給される小さなアクティブ電極に分割する技術も開示する。

請求項（抜粋）：

リアクタ・チャンバと、RF発生器と、前記RF発生器に接続された電気的整合ネットワークと、前記リアクタ・チャンバ内に配置された二つ以上のパワード電極と、前記整合ネットワークと各パワード電極の間に接続された少なくとも一つの分離伝送線とを備え、各伝送線は、1/4波長伝送線におおよそ等しい長さを有することを特徴とする多極プラズマ・リアクタ。