特許
J-GLOBAL ID：200903041286593678
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-049047
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260489
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 広い温度範囲で温度オフセット出力変化が小さく、かつ安価な角速度センサを提供する。【構成】 方形断面の対称な振動腕24,25;29,30を支持部23,28で平行一体に連結した形状をそれぞれ有する略U字音叉形水晶ブランクの振動腕24,25;29,30の周面に電極22,27をそれぞれ配設してなる第1および第2の音叉形水晶振動子21,26を互いに平行に面対向した状態に結合子31を介し支持部23,28において固着する。第1の音叉形水晶振動子21を駆動側音叉とし、第2の音叉形水晶振動子26を検知側音叉とし、駆動側音叉のコリオリ力による振動を検知側音叉に伝達させる。検知側音叉は、伝達された振動による電気的信号を電極27を介して検出し、そのレベルから角速度を検出する。第1の音叉形水晶振動子21は結晶軸XYZのXY面内で切り出し、第2の音叉形水晶振動子26はYZ面内で切り出している。
請求項（抜粋）：
結晶軸X,Y,ZのX軸周りに回転した新たな結晶軸X,Y′,Z′のY′軸方向を長手方向にしてX,Y′面内で切り出し、方形断面の一方および他方の対称な振動腕を支持部で平行一体に連結した形状を有する略U字音叉形水晶ブランクの前記一方および他方の振動腕の周面に電極を配設してなる第1の音叉形水晶振動子と、結晶軸X,Y,ZのX軸周りに回転した新たな結晶軸X,Y′,Z′のY′軸方向を長手方向にしてY′,Z′面内で切り出し、方形断面の一方および他方の対称な振動腕を支持部で平行一体に連結した形状を有する略U字音叉形水晶ブランクの前記一方および他方の振動腕の周面に電極を配設してなる第2の音叉形水晶振動子とを、互いに平行に面対向した状態に結合子を介し前記支持部において固着した角速度センサであって、前記第1の音叉形水晶振動子を、電極を介して交流電圧を印加することにより、一方および他方の振動腕のX軸方向に変位する互いに逆相の屈曲振動を発生させる駆動側音叉とし、前記第2の音叉形水晶振動子を、前記結合子を経由して前記第1の音叉形水晶振動子から伝播したZ′軸方向に変位する互いに逆相の屈曲振動とY′軸周りの回転角速度に基づくコリオリの力によって発生する一方および他方の振動腕のX軸方向の互いに逆相の屈曲振動により生じる交流電圧を電極を介して検出する角速度検出用の検知側音叉としたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 3/00
, G01P 9/04
