特許

J-GLOBAL ID：200903041288019537

反射屈折縮小投影光学系

発明者： 石山 敏朗 ,  清水 義之 ,  林 清志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-286516
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242379
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構成でありながら、半導体製造用の光学系として優れた結像性能を有すると共に、大きな開口数を有する反射屈折縮小投影光学系を提供する。【構成】 物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G<SB>1 </SB>と第1凹面反射鏡M<SB>1</SB>とを有し物体の1次像を形成する第1部分光学系と、第2凹面反射鏡M<SB>2 </SB>と正屈折力の第3レンズ群G<SB>3 </SB>とを有し前記1次像をさらに縮小して再結像させる第2部分光学系と、第1凹面反射鏡M<SB>1 </SB>と第2凹面反射鏡M<SB>2 </SB>との間の光路中に配置される正または負の屈折力の第2レンズ群G<SB>2 </SB>とを有する。ここで、第3レンズ群G<SB>3 </SB>の倍率β<SB>G3</SB>は、0.05<β<SB>G3</SB><0.6の条件を満足する。

請求項（抜粋）：

物体側から順に、正の屈折力の第1レンズ群G<SB>1 </SB>と、第1凹面反射鏡M<SB>1 </SB>とを有し、物体の1次像を形成する第1部分光学系と、第2凹面反射鏡M<SB>2 </SB>と、正の屈折力の第3レンズ群G<SB>3 </SB>とを有し、前記1次像をさらに縮小して結像させる第2部分光学系と、前記第1凹面反射鏡M<SB>1 </SB>と前記第2凹面反射鏡M<SB>2 </SB>との間の光路中に配置される正または負の屈折力の第2レンズ群G<SB>2 </SB>とを有し、前記第3レンズ群G<SB>3 </SB>の倍率をβ<SB>G3</SB>とするとき、0.05 < β<SB>G3</SB> < 0.6の条件を満足することを特徴とする反射屈折縮小投影光学系。