特許
J-GLOBAL ID:200903041288752714

薄板把持方法及びフローティング把持機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 絹谷 信雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-385119
公開番号(公開出願番号):特開2002-187091
出願日: 2000年12月19日
公開日(公表日): 2002年07月02日
要約:
【要約】【課題】 薄板に曲げ応力をかけることなく、矯正力による復元を妨げることなく、把持機構に薄板を真上からセッティングでき、把持機構の受面に薄板を衝突させない薄板把持方法及びフローティング把持機構を提供する。【解決手段】 エアスライダ7上で浮上する液晶基板などの薄板4を検査ステーションに搬送すべくその薄板4を把持する薄板把持方法において、上記薄板4を把持する把持部16の高さを上記薄板4の浮上高さに追従させながらその把持部16で薄板4を把持するものである。
請求項(抜粋):
エアスライダ上で浮上する液晶基板などの薄板を検査ステーションに搬送すべくその薄板を把持する薄板把持方法において、上記薄板を把持する把持部の高さを上記薄板の浮上高さに追従させながらその把持部で薄板を把持することを特徴とする薄板把持方法。
IPC (7件):
B25J 17/02 ,  B25J 15/00 ,  B25J 15/08 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500
FI (7件):
B25J 17/02 F ,  B25J 15/00 F ,  B25J 15/08 A ,  G01N 21/84 C ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500
Fターム (24件):
2G051AA73 ,  2G051DA01 ,  2H088EA02 ,  2H088FA11 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA28 ,  2H088FA30 ,  2H090HC18 ,  2H090HC20 ,  2H090JC11 ,  2H090JC18 ,  3C007DS01 ,  3C007ES03 ,  3C007EV02 ,  3C007EV08 ,  3C007EV23 ,  3C007NS09 ,  3F061AA01 ,  3F061BA03 ,  3F061BE02 ,  3F061BE13 ,  3F061BE43 ,  3F061DB04

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