特許
J-GLOBAL ID:200903041294548894

リード間異物検査法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-334245
公開番号(公開出願番号):特開平11-166899
出願日: 1997年12月04日
公開日(公表日): 1999年06月22日
要約:
【要約】【課題】 リードバリやタイバー等のリード間異物を正確、簡易に検査する。【解決手段】 画像取り込み部1により基準画像及び被検査画像が取り込まれ、基準画像は登録画像メモリ2に、被検査画像は画像メモリ3に登録される。パターンマッチング回路4は、パターンマッチングを行い、リードの位置を検出する。リードエッジ回路5は、ICの各リードの先端、根元、側面のエッジ、しきい値をそれぞれ求める。ラベリングエリア獲得回路8は、リード間にスキャンラインを設定すると共に、ラベリング処理を行う検査エリアを設定する。不良判定回路9は、スキャンライン上に不良画素が存在する場合に、ラベリング処理を行い、かつ、その不良画素がリードエッジまで連続しているか否か検査する。
請求項(抜粋):
ICの画像を取り込む手段と、前記ICのリードの側面のエッジから所定の距離に前記リードの側面に平行なスキャンラインを設定する手段と、前記スキャンライン上に所定濃度値以上の画素が存在する場合に、前記リードのエッジ又はその近傍から前記スキャンラインまでの範囲についてラベリング処理を行う手段と、前記ラベリング処理により得られる前記所定濃度値以上の画素からなる領域の前記リードの側面に垂直な方向の大きさを求める手段と、前記領域の前記リードの側面に垂直な方向の大きさが前記リードのエッジ又はその近傍から前記スキャンラインまでの範囲に実質的に等しい場合に、前記リード間に異物が存在すると判定する手段とを具備することを特徴とする検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/02 ,  G06T 7/00
FI (3件):
G01N 21/88 E ,  G01B 11/02 H ,  G06F 15/62 405 A

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