特許
J-GLOBAL ID：200903041294661216
角速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194081
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021360
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 オフセット信号を低減することができ、且つ製造コストを低くすることができる角速度センサ及び角速度センサの作製方法を得る。【解決手段】 第1の方向に並んで設けられ、各々固定部4から第1の方向に振動可能に支持された2つの第1振動体1a,1bと、伸縮方向を第1の方向に一致させて2つの第1振動体1a,1bを連結する振動バネ2と、固定部および連結された第1振動体1a,1bは同一平面上にあり、該平面に直交する第2の方向に振動可能に2つの第1振動体1a,1bのそれぞれに支持された第2振動体7と、第1の方向に直交する第2の方向に振動可能に2つの第1振動体1a,1bのそれぞれに支持された第2振動体7と、2つの第1振動体1a,1bを第1の方向に互いに逆位相となるように振動させる振動発生手段9と、第2振動体7の第2の方向の振動を検出する振動検出手段13とを備えている。
請求項（抜粋）：
第1の方向に並んで設けられ、各々固定部から第1の方向に振動可能に支持された2つの第1振動体と、伸縮方向を第1の方向に一致させて上記2つの第1振動体を連結する振動バネと、上記固定部および連結された上記第1振動体は同一平面上にあり、該平面に直交する第2の方向に振動可能に上記2つの第1振動体のそれぞれに支持された第2振動体と、上記2つの第1振動体を第1の方向に互いに逆位相となるように振動させる振動発生手段と、上記第2振動体の第2の方向の振動を検出する振動検出手段とを備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2F105BB04
, 2F105BB08
, 2F105BB13
, 2F105BB15
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD07
, 2F105CD13
