特許

J-GLOBAL ID：200903041295446408

半導体成長用サセプタ

発明者： 石川 秀人
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-246549
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092913
出願日： 1996年09月18日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 半導体成長装置に用いるサセプタとしての消耗部品の経費削減を図る。【解決手段】 半導体成長装置に用いる半導体加熱保持のためのいわゆる半導体成長用サセプタ21であって、2分割以上の分割可能な構造を有し、例えば半導体基板を保持する基板保持部22と、基板保持部22を着脱可能に支持する支持部23とから成る。

請求項（抜粋）：

半導体成長装置に用いる半導体加熱保持のためのサセプタであって、2分割以上に分割可能な構造を有して成ることを特徴とする半導体成長用サセプタ。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/31