特許

J-GLOBAL ID：200903041300218133

露光装置

発明者： 小川 正彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022590
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202498
出願日： 1998年01月20日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 簡易な構造で低価格の光学系容器を用いて、照明光によって引き起こされる化学反応により生成される反応生成物や動作部で発生するごみ等を各光学部材の表面に付着しないようにして、照明光の照度低下および照度ムラを抑えることができる露光装置を提供する。【解決手段】 光学系容器を構成する筐体21に、ミラーホルダー22に接着剤により固定されたミラー23や平行平板ガラス25a、25bが照明光路28に沿って収容され、窒素ガスを導入する導入口21aをミラー23やガラス25a、25bに近接して配置し、排気口21b〜21gを接着剤やミラー23の調整機構等の照度低下や照度ムラの起因物質側に配置する。導入口21aから導入された窒素ガスは、光学部材の周辺を流れた後に照度低下や照度ムラの起因物質側へ流れて、排気口21b〜21gから筐体21外へ排気される。

請求項（抜粋）：

基板に照射される照明光路の光学部材を収容する光学系容器と、該光学系容器に気体を導入する導入口と該光学系容器から気体を排気する排気口をそれぞれ少なくとも1つ以上具備する露光装置において、前記光学系容器内に配設する有機物からなる部材あるいは物質を前記導入口よりも前記排気口側に配置することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 G