物理化学的処理装置および気密性保持部材の劣化防止方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤島洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-128436
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321600
出願日： 1997年05月19日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】プラズマ等による気密性保持部材の劣化を防止する。【解決手段】気密性保持部材としてのOリング50の近傍のプラズマの通り道の部分、例えば、石英管41の内側と、下蓋33(および上蓋32)の溝33a(および溝32a)のプラズマ80の通り道に相当する部分に、吸着材60が設置される。このような吸着材60がOリング50の近傍に設置されることにより、石英管40内で発生したイオンやラジカル等のプラズマ80は、ほとんど吸着材60に吸着するようになる。これにより、吸着材60と吸着しなかったわずかな量のプラズマ80を除いて、プラズマ80が直接的にOリング50に到達するのが阻止される。

請求項（抜粋）：

被処理対象物に対して所定の物理化学的処理を行うために設けられた処理室と、前記処理室の気密性を保持するために設けられた気密性保持部材と、この気密性保持部材の近傍に配置され、前記処理室の内部で発生する前記気密性保持部材を劣化させる物質を吸着する吸着材とを備えたことを特徴とする物理化学的処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/302 H , H01L 21/30 572 A

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