特許

J-GLOBAL ID：200903041305428659

静電モータ

発明者： 松尾 智弘 ,  松崎 一成 ,  八木 晃治 ,  原田 武徳
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106098
公開番号（公開出願番号）：特開平6-296376
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【構成】 平板状の固定子1と、固定子1に対して平行に移動し得るように支持された平板状の可動子3と、可動子3を駆動する電極対6とを備えた静電モータにおいて、可動子3は、固定子1側の面に傾斜して固定した板状の固定片4と、固定片4に間隔をおいて平行に可動子3に固定し、かつ固定基部付近にバネ部51を設けた可動片5と、可動片5と固定片4の対向する面に設けた電極対6とを設け、電極対6にパルス状の電圧を印加することにより可動片5と固定片4との間に吸引力を発生させて、可動片5の先端を固定子1の表面に衝突させ、前記衝突の反作用により可動子3を移動させるようにしたものである。【効果】 可動子が固定子に対して平行に移動する方向に働く静電推力より遥かに大きい静電吸引力を利用することができ、出力の大きい静電モータを提供できる。

請求項（抜粋）：

平板状の固定子と、前記固定子に対向して平行に移動し得るように支持された平板状の可動子と、前記可動子を駆動する電極対とを備えた静電モータにおいて、前記可動子は、前記固定子側の面に傾斜して固定した板状の固定片と、前記固定片に間隔を設けて平行に前記可動子に固定し、かつ固定基部付近にバネ部を設けた可動片と、前記可動片と前記固定片の対向する面に設けた電極対とを備えたことを特徴とする静電モータ。