特許

J-GLOBAL ID：200903041305485180

繭型コロイダルシリカの製造方法

発明者： 磯 守
出願人/特許権者： 磯 守
代理人 (1件)： 飯田 房雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227066
公開番号（公開出願番号）：特開平11-060232
出願日： 1997年08月11日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】 シリコンウエハなどの研磨砥粒として、研磨速度が速いだけでなく、研磨ダメージが少なく、研磨表面を汚染するおそれもないコロイダルシリカの製造方法を得ること。【解決手段】 ケイ酸メチル又はケイ酸メチルとメタノ-ルの混合物を、水、メタノ-ル及びアンモニア等からなる混合溶媒中に攪拌下に10〜40分間で滴下し、ケイ酸メチルと水とを10〜40分間反応させて、短径が10〜200nmで長径/短径比が1.4〜2.2の繭型コロイダルシリカを製造する。

請求項（抜粋）：

ケイ酸メチル又はケイ酸メチルとメタノ-ルとの混合物を水、メタノ-ル及びアンモニア又はアンモニアとアンモニウム塩からなる混合溶媒中に攪拌下に10〜40分間で滴下し、ケイ酸メチルと水とを反応させて10〜200nmの短径と1.4〜2.2の長径/短径比を有するコロイダルシリカを生成することを特徴とする繭型コロイダルシリカの製造方法。

IPC (4件)：

C01B 33/14 ,  B24B 37/00 ,  C09K 3/14 550 ,  H01L 21/304 321

FI (4件)：

C01B 33/14 ,  B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 D ,  H01L 21/304 321 P